با توسعه سریع صنعت نیمههادی، مقیاس این صنعت به سرعت افزایش یافته و تجهیزات تولید نیمههادی به دقت و پیچیدگی خود ادامه دادهاند. از آنجا که سرامیکها مزایایی مانند سختی بالا، مدول الاستیک بالا، مقاومت در برابر سایش بالا، عایقبندی بالا، مقاومت در برابر خوردگی، انبساط کم و غیره را دارند، میتوانند به عنوان قطعاتی از دستگاه پولیش سیلیکون، تجهیزات عملیات حرارتی اپیتکسیال/اکسیداسیون/انتشار، دستگاه لیتوگرافی، تجهیزات رسوبگذاری، تجهیزات حکاکی نیمههادی، دستگاه کاشت یون و سایر تجهیزات مورد استفاده قرار گیرند، بنابراین تحقیق و توسعه و تولید قطعات سرامیکی دقیق مستقیماً بر توسعه صنعت نیمههادی تأثیر میگذارد. الزامات فنی آمادهسازی آن روز به روز بیشتر میشود.
آلومینای با خلوص بالا، 99.7٪ -99.9٪ آلومینا.
استحکام مکانیکی بالا، مقاومت سایشی بالا، عایق الکتریکی بالا، پایداری شیمیایی بالا، مقاومت حرارتی خوب و مقاومت در برابر خوردگی. در حال حاضر، استفاده از دیسک سنگزنی سرامیکی برای سنگزنی ویفر سیلیکونی نیمههادی، برترین و پیشرفتهترین روش سنگزنی است. از فرآیند سنگزنی دو طرفه برای سنگزنی ویفر سیلیکونی برش خورده استفاده میشود و کیفیت ویفر سنگزنی با بهبود فرآیند سنگزنی (جنس دیسک، سیال سنگزنی، فشار سنگزنی و سرعت سنگزنی و غیره) بهبود مییابد. به طور خاص، استفاده از صفحات سرامیکی به جای صفحات چدنی، برای جلوگیری از سنگزنی روی سطح اصلی ویفر ناشی از زخم یا آلودگی، کاهش ورود یونهای فلزی، میتواند پردازش بعدی سیلیکون را کاهش دهد، زمان فرآیند بعدی (خوردگی) را کوتاه کند، راندمان تولید را بهبود بخشد و تلفات پردازش سیلیکون را کاهش دهد و استفاده از سیلیکون را تا حد زیادی بهبود بخشد.
صفحه پرداخت ویفر آلومینای بالادر صنایع نیمههادی، نفت، شیمیایی، فتوولتائیک، کریستال مایع و سایر صنایع، مانند قطعات مکانیکی، قطعات الکترونیکی، دیسک القایی مایکروویو، مواد عایق و سایر قطعات، دستگاههای نیمههادی، تجهیزات خلاء، تجهیزات تولید کریستال مایع و سایر قطعات استفاده میشود. سرامیکهای آلومینای با اندازه بزرگ و خلوص بالا، کاربرد مهمی در صنعت یاقوت کبود و صنعت تراشههای نیمههادی دارند. این سرامیکها یک تکیهگاه کلیدی و مصرفی برای پرداخت مکانیکی شیمیایی (CMP) ویفرهای سیلیکونی یاقوت کبود و نیمههادی هستند. سرامیکهای آلومینای با اندازه بزرگ و خلوص بالا همچنین میتوانند به عنوان زیرلایه آلومینا برای LCD استفاده شوند.
زمان ارسال: ۲۷ ژوئن ۲۰۲۴