خلوصِدیسکهای صفحه پولیش سرامیکی آلومیناتأثیر قابل توجهی بر روند کار دارد، عمدتاً در زمینههای زیر:
۱. اثر صیقلدهی:
- دیسکهای صیقل داده شده با ویفر آلومینای با خلوص بالا، سطح صیقلی یکنواختتری با عیوب سطحی و ناخالصیهای کمتر فراهم میکنند.
- استفاده از دیسکهای صیقلدهنده اکسید آلومینیوم با خلوص بالا برای صیقل دادن ویفرهای نیمههادی میتواند باعث کاهش جای زخم یا آلودگی سطح اصلی ویفر، کاهش ورود یونهای فلزی، بهبود استفاده از ویفرهای سیلیکونی و کیفیت صیقلدهی شود.
۲. کیفیت محصول:
- خلوص بالای دیسکهای صفحهای صیقلی سرامیکی آلومینا به این معنی است که میزان ناخالصی آنها کم است، که میتواند آلودگی سطح ویفر ناشی از ناخالصیها را در طول فرآیند صیقل دادن کاهش دهد.
- دیسکهای پولیش با خلوص بالا به حفظ خلوص محصول کمک میکنند، عملکرد پایدار دستگاههای نیمههادی را تضمین میکنند و الزامات سختگیرانه فرآیند را برآورده میکنند.
۳. پایداری فرآیند:
- ضریب انبساط حرارتی دیسکهای پولیش آلومینای با خلوص بالا مشابه سیلیکون است که به کاهش تنش حرارتی ناشی از تغییرات دما و بهبود پایداری فرآیند کمک میکند.
- فرآیند پایدار به کاهش نرخ نقص در فرآیند تولید و بهبود راندمان تولید کمک میکند.
۴. پایداری شیمیایی:
- آلومینای با خلوص بالا پایداری شیمیایی عالی دارد و قادر است خواص و ساختار خود را در طیف وسیعی از محیطهای شیمیایی حفظ کند.
- این امر باعث میشود دیسکهای پولیش اکسید آلومینیوم با خلوص بالا در طول فرآیند پولیش کمتر در معرض خوردگی یا سایش قرار گیرند و عمر مفید بیشتری داشته باشند.
۵. مزایای اقتصادی:
- در حالی که هزینه اولیه یک دیسک صیقل آلومینای با خلوص بالا ممکن است بالا باشد، خواص عالی و عمر طولانی آن هزینه کلی تولید را کاهش میدهد.
- علاوه بر این، دیسکهای پولیش با خلوص بالا میتوانند کیفیت محصول و پایداری فرآیند را بهبود بخشند، نرخ محصول معیوب را کاهش دهند و مزایای اقتصادی را بیشتر بهبود بخشند.
۶. تأثیر شاخصهای فنی:
- طبق مقاله ارجاع شده، دیسکهای صیقلکاری از جنس آلومینای با خلوص بالا (99.7%-99.9%) دارای خواص فیزیکی و شیمیایی عالی مانند استحکام مکانیکی بالا، مقاومت سایشی بالا، عایق الکتریکی بالا، پایداری شیمیایی بالا، مقاومت حرارتی و خوردگی خوب هستند.
- این شاخصهای فنی مستقیماً بر تأثیر فرآیند پولیش و کیفیت محصول تأثیر میگذارند.
خلوص دیسک صفحه صیقل داده شده ویفر سرامیکی آلومینا تأثیر مهمی بر فرآیند دارد، دیسک صیقل با خلوص بالا میتواند اثر صیقل، کیفیت محصول و پایداری فرآیند را بهبود بخشد، در حالی که هزینه کلی تولید را کاهش میدهد. بنابراین، در فرآیند تولید نیمههادی، انتخاب دیسکهای صیقل آلومینای با خلوص بالا برای اطمینان از کیفیت محصول و بهبود راندمان تولید مهم است.
زمان ارسال: ۱۴ ژوئیه ۲۰۲۴